Кратко рассмотрены элементы метрологии, используемые в микросенсорике.
Подробно рассмотрены основные твердотельные датчики, используемые преимущественно в наукоемких областях (точная механика и оптика, микро- и наноэлектроника, атомная энергетика, военное дело): датчики на основе гальваномагнитных эффектов, датчики давления, температуры и теплового излучения, скорости и ускорения, газоанализаторы, датчики влажности, изображения, детекторы радиоактивного излучения, актюаторы и сенсоры вакуумно-плазменных технологий, обеспечивающие высокое качество продукции при изготовлении указанных датчиков. Все рассмотренные датчики описываются по единому принципу: детальное рассмотрение физического эффекта, лежащего в основе работы; выбор и практическая реализация конструктивно-технологических решений.
Информация о книге: Название: Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства Автор: Родионов Ю.А. Язык: русский Издательство: БГУИР Жанр: АППАРАТУРА Год: 2019 Формат: fb2 Качество: OCR без ощибок Серия: Сборник произведений Страниц: Много Размер: 14.5 Мб
Скачать Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства
